Magnetostatische Linsenanordnungen mil Dwchanischen Regelglicdern 



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Fig. 5. Reflection units using small permanent magnets. 



^ = 



2 mo U* 



BAz)dz. 



Here c is the charge of an electron, /?/„ its mass, Bx 

 the component of the induction normal to the plane 



of motion. - measures in the initial direction, the 

 field extends between, r„ and r,. Fig. 5d illustrates 

 the principle of a deflection unit working with 

 small flat AInico magnets. Fig. 5a shows the unit 

 assembled and Fig. 5/) the magnets, the magnetic 

 link and the moimt. With these magnets an angle of 

 deflection of I 1 can be obtained. 



It may only be mentioned here that two permanent 

 magnets of this type can be arranged in a way that 

 they form a magnetic quadrupole and so have focus- 

 sing properties. Lenses of both positive and negative 

 focal length in the order of 5-6 mm could be realized 

 with the small magnets described above. The very 

 preliininary experiments were carried out with the 

 help of a device shown in fig. 5c, which has two or 

 four degrees of freedom. 



For many fruitful discussions the authors wish to 

 thank Dr. Lenz. The technical designs of the lens systems 

 lay in the hands of Ing. J. Huppertz. 



References 



1. VON BORRIES, B., Kolloid-Z. 114, 164-167 (1949). 



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Uber magnetostatische Linsenanordnungen mit mechanischen 



Reeeleliedern^ 



K. MiJLLER 



Siemens & Halske AG, Wernerwerk fiir Mefitechnik, Berlin-Siemensstadt 



IM Rahmen einer Entwicklung magnetostatischer 

 Elektronenlinsen haben wir vor allem die Moglich- 

 keiten studiert, die Brennweite solcher Linsen zu 

 regein, wie es zur Scharfstellung des Bildes oder 

 zum Wechsel des AbbildungsmaBstabes notwendig 

 ist. 



Die Brennweite einer magnetischen Elektronen- 

 linse hangt von drei GroBen ab: von der Strahlspan- 

 nung, der Maximalfeldstiirke im Linsenspalt und von 

 der Halbwertsbreite des Linsenfeldes. Die Anderung 

 einer dieser drei GroBen bewirkt eine Regelung der 

 Brennweite, doch sind nicht alle GroBen in gleicher 

 Weise geeignet: Strahlspannungsiinderungen beein- 

 flussen in meist unerwiinschter Weise das Durch- 



^ Eine ausfiihrlichere Veroffentlichung crschcini dem- 

 nachst in Z. wiss. Mikroskopie. 



2 — 568204 Electron Microscopy 



dringungsvermogen der Elektronen. Man wird diese 

 Moglichkeit der Brennweitenregelung deshalb hoch- 

 stens in einem schmalen Bereich anwenden, der zur 

 Feinfokussierung des Bildes geniigt, dagegen fur 

 Grobscharfstellung und VergroBerungswechsel die 

 Anderung von Maximalfeldstarke und Halbv\erts- 

 breite vorziehen. Die Halbwertsbreite des Feldes ist 

 — wenn man von Siittigungserscheinungen absieht — 

 allein eine Funktion der Linsengeometrie. also 

 des Polschuhabstandes und des Bohrungsdurchmes- 

 sers. Sie kann daher durch das Auswechseln von 

 Polschuhen oder durch Verschieben der beiden Pol- 

 schuhe einer Linse gegeneinander veriindert werden. 

 Das Auswechseln schien uns technisch unbequem:die 

 Moglichkeit einer Polschuhverschiebung gefahrdet 

 eine exakte Zentrierung der Linsen. Wir wahlten 

 deshalb den dritten Weg: die Regelung der Feld- 



