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S. LEISEGANG UND O. SCHOTT 



ausreichend genaue Angabe des jeweiligen Abbil- 

 dungsmaBstabes. Abb. 5 zeigt eine derartige Eich- 

 kurve, links das Gebiet vierstufiger Abbildung, rechts 

 das Gebiet dreistufiger Abbildung mit Dublettwir- 

 kung der Mittellinsen. 



Wir dimension ierten die Linsen so, daB sich ein 

 maximaler AbbildungsmaBstab von 60000:1 ergab. 

 Im Gebiet vierstufiger Abbildung Hess sich die 

 VergroBerung auf weniger als jq herabregeln, ohne 

 daB die Verzeichnung des Endbildes in radialer oder 

 tangentialer Richtung groBer als 6 "„ wurde. Durch 

 den Ubergang zu dreistufiger Abbildung lieB sich 

 der ausnutzbare Regelbereich noch erweitern. Es 

 stellte sich niimlich heraus, daB dreistufig erzeugte 

 (jbersichtsbilder wesentlich weniger verzeichnet wa- 

 ren als ebenso schwach vergroBerte vierstufige Abbil- 

 dungen. Bei diesem groBen Regelumfang war es 

 besonders angenehm, daB diese Regelart keine Bild- 

 drehung verursachte und es durch gute Zentrierung 

 von Linsen, Zackenregler und Elektronenstrahl ge- 

 lang, die Lage des Bildmittelpunktes wahrend des 

 Regelvorganges praktisch unbeweglich in der End- 

 bildschirmmitte zu halten. 



Die mit der Anderung der Mittellinsenerregung 

 verbundene Defokussierung des Bildes muBte durch 

 andere Regelorgane kompensiert werden. Wir hatten 

 dafur urspriinglich eine Innenscheibe im Objektiv- 

 kreis vorgesehen. Es stellte sich aber heraus, daB 

 der Regelbereich der Scheibe dieser Aufgabe nicht 

 anniihernd entsprach. AuBerdem war ihre Axialbe- 

 wegung infolge des unvermeidbaren mechanischen 

 Spiels mit geringen Querbewegungen verbunden. Die 

 dadurch verursachten Verschiebungen des Bildes 

 storten die Beobachtung gerade bei der Scharfstel- 

 lung. Ein derartiger EinfluB der Scheibenbewegung 

 auf den Elektronenstrahl nimmt ab, wenn die Ent- 

 fernung zwischen Regelkorper und Strahl wiichst. 



Nun enthielt die Anordnung auBer dieser Innen- 

 scheibe noch zwei weitere Regelscheiben, die sich 

 zwischen den beiden Magneten und dem Mantel 

 des Systems befanden. Diese AuBenscheiben waren 

 vorziiglich geeignet. eine Grobscharfstellung des 

 Bildes vorzunehmen. Die Feinfokussierung mit 

 mechanischen Regelgliedern erwies sich als unbe- 

 quem, weil bei der Hin- und Riickbewegung infolge 

 der Hysterese des magnetischen Materials etwas 

 verschiedene Regelkurven durchlaufen werden. Sehr 

 viel angenehmer ist statt dessen eine Feinregelung 

 der Strahlspannung. Der notwendige Regelumfang 

 von ± 500 V hat nicht den oben erwahnten Nachteil, 

 daB die Durchdringungsfahigkeit der Elektronen 

 merklich geiindert wird. 



Es ist noch zu erwiihnen, daB es durch gleichzeitige 

 Betatigung von Zackenregler und AuBenscheiben 

 gelang, Beugungsdiagramme durch die nicht ab- 

 schaltbaren Linsen zu fiideln. Allerdings muBte der 

 Objektbereich dabei auf weniger als 30 /.i c begrenzt 

 werden. 



Wir wollten die besprochene Anordnung gleich- 

 zeitig benutzen, um zu demonstrieren, daB sich auch 

 mit derartig geregelten magnetostatischen Linsen ein 

 recht gutes Auilosungsvermogen erreichen liiBt. Wir 

 legten deshalb groBen Wert auf gute Zentrierung 

 von Linsen und Elektronenstrahl. Bei der schritt- 

 weisen Entwicklung der optischen Eigenschaften war 

 auBerdem der Einbau eines Stigmators besonders 

 wirkungsvoll. Wir erreichten bisher ein Auilosungs- 

 vermogen von 2 m/< (Abb. 6). Diese Grenze wird 

 durch den Farbfehler bestimmt und ist wahrschein- 

 lich auf die objektbedingte Streuung der Elektronen- 

 energien zuriickzufi-ihren. 



LiTERATUR 



Langner, G., Optik 12, 554-562 (1955). 



Der EinfluB der Bestrahlungsbedingungen auf die Objektverschmutzung 



S. Leisegang und O. Schott 



Siemens und Halske AG, Wernerwerk fiir Mefitechnik, Berlin-Sicmensstadt 



Die Objektverschmutzung ist bei der Mikroskopie 

 hochster Auflosung eine sehr storende Erscheinung. 

 Nach den Messungen von Ennos ist die Verschmut- 

 zung stark abhangigvonderTemperaturdesObjektes. 

 Durch verschiedene Bestrahlungsbedingungen kann 

 die Temperatur des Objektes bei gleicher Stromdichte 

 in weiten Grenzen verandert werden. Das hat zur 

 Folge, daB auch die Objektverschmutzung stark von 

 den Bestrahlungsbedingungen abhiingt. Diese Ab- 

 hiingigkeit wird theoretisch und experimentell unter- 

 sucht. Von besonderer Bedeutung ist dabei die Tat- 

 sache, daB bei Bestrahlung der Objektblende selbst 

 eine ganz wesentliche Erhohung der Temperatur des 

 Objektes eintritt. 



Die Objektverschmutzung wurde in einem El- 

 miskop I als Funktion der Stromdichte bei Zim- 

 mertemperatur (etwa 25 C) auf folgende Weise 

 gemessen: 



Mit Hilfe des Feinstrahlkondensors wird ein klei- 

 ner Bereich des Testobjektes von 2 /< bestrahlt. 

 Durch Bestrahlung eines so kleinen Bereiches wird 

 die Temperatur des Testobjektes auch bei hoher 

 Stromdichte nicht merklich erhoht [4]. Die Bestrah- 

 lungsstromdichte wird bei bekannter VergroBerung 

 im Endbild mit Faradaykiifig und Elektrometer 

 gemessen. Die Objektdicke d und die Dicke der 

 aufgewachsenen Verschmutzungsschicht c/,, wird 

 durch Messung der Streuabsorption (Objektivaper- 



