Ein ncues clcktrostatisches Gehrauchs-Elektronenmikroskop 



35 



Fig. 1. Das neue elektrostatische Elektronenmikroskop. 



ohne besonderen Aufwand schnell durchgefuhrt 

 werden kann. 



Das Objektiv ist mit einemZwischenbeschleuniger 

 (3) ausgeriistet. Die Elektronen laufen nach dem 

 Verlassen der Kathode auf eine kiifigformige 

 Elektrode zu, die ebenso hoch positiv geladen ist, 

 wie die Kathode negatives Potential gegenuber 

 Erde besitzt. In ihrem Innern, also im feldfreien 

 Raum, befindet sich das zu untersuchcnde Objekt. 

 Betragt die Kathodenspannung z. B. 35 kV, so 

 durchsetzen die Elektronen das Objekt mit 70 keV. 

 AnschlieBend laufen sie gegen eine geerdete Elek- 

 trode, wodurch ihre Geschwindigkeit wieder auf 

 35 keV vermindert wird. Wir haben damit hohe 

 Geschwindigkeit der Elektronen nur im Objekt, wo 

 sie wegen ihrer besseren Durchdringungsfiihigkeit 

 zweckmiissig ist. Auf dem Leuchtschirm und auf 

 der Photoplatte kommen die Elektronen dagegen 

 mit geringerer Geschwindigkeit an, so daB sie dort 

 einen gUnstigen Wirkungsgrad besitzen. 



Die fiir den jeweiligen Zweck giinstigste Elektro- 

 nengeschwindigkeit am Objekt liiBt sich bei dem 

 Gerat einfach einstellen, da man sie zwischen 40 und 

 75 keV bequem variieren kann, ohne daB dabci eine 

 Veranderung der elektronen-optischen VergroBerung 

 des Bildes eintritt. 



Durch die Verwendung des Zwischenbeschleuni- 

 gers hat man den weiteren Vorteil der geringeren 



Isolationsschwicrigkcitcn. die sich sonst bei Span- 

 nungcn iiber 50 kV unangonchni bemerkbar machen 

 und die bishcr die Elektronengeschwindigkeit der 

 elektrostatischen Geriite auf 50 keV begrenzten. 



Die Projektionsoptik besteht aus ciner ncuartigen 

 Vierelektrodenlinsc (..Rcgcllinse") (6) sowie aus einer 

 iiblichen Drciclcktrodonlinse (,,Projcktiv'"). Wiih- 

 rend das Projektiv nur cine spannungsfuhrende 

 Elektrode zwischen den beiden Erdelcktroden be- 

 sitzt, hat die Vierclcktrodcniinse dcren zwei, die 

 wahlweise an Spannung oder auch an Erdpotentiai 

 gelcgt werden kiinnen. Zu ihrem Betrieb werden die 

 in der Hochspannungskaskade (4, 5) vorhandenen 

 Potentiate Uk, I V^ und I 1)^ benutzt. Legt man die 

 obere Elektrode an voile Spannung und die darunter 

 befindliche an Erdpotentiai, dann erhiilt man eine 

 kiirzere Brennweite, als wenn man umgekehrt die 

 untere Elektrode an voile Spannung und die obere 

 an Erde legt. Befinden sich beide Elektroden auf 

 ;-Potential, so vergroBcrt sich die Brennweite ge- 

 genijber der ersten Schaltungsmoglichkeit etwa um 

 den Faktor 10. Durch die angegebenen Schalt- 

 moglichkeiten laBt sich ein einfacher VergroBe- 

 rungswechsel vornehmen. 



Zusammen mit dem Projektiv konnen mit dieser 

 Regellinse ohne Bildumkehr auf den Leuchtschirm 

 oder auf die Photoplatte drei verschiedene Ver- 

 groBerungen, I200-, 4000- oder lOOOOfach, wahl- 

 weise eingestellt werden. Mit einem zusiitzlich liefer- 

 baren Projektiv kiirzerer Brennweite konnen dicse 

 VergroBerungen verdoppelt werden, so daB man auf 

 20000fache elektronenoptische VergroBerung auf 

 dem Leuchtschirm bzw. der Photoplatte kommt. Die 

 Formen der Projektivelektroden sind so gewiihlt, 



Kathode 



Anode 

 Beleucht-BI 

 Gesichtsfeldbi 



.ij Zwischen- 

 -- beschleuniger 



Objektiv 

 Stig motor 



Reaellinse 

 Projektiv/ 



Aufsicht- Leuchtschirm 

 Durchsicht- Leuchtschirm 

 Foto - Platte 



Val.uum - Pumpe 



Kteinbild-Kamera 

 Fig. 2. Schema der optischen Anordnung. 



